真空等離子噴涂
真空等離子噴涂
真空等離子噴涂
SWZP-2000真空等離子噴涂系統(tǒng)
一、總體概述
本設(shè)備PS-PVD/LPPS/VPS適用于單工位工件重量不大于150kg,實(shí)現(xiàn)100-90000Pa任意設(shè)定值真空條件下進(jìn)行等離子噴涂，在真空室內(nèi)噴涂設(shè)備由機(jī)器人夾持實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)，工件由工裝轉(zhuǎn)臺(tái)夾持可在一定范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)并與機(jī)器人聯(lián)動(dòng)，壓力檢測(cè)位置位于工作臺(tái)上方，配備相應(yīng)的除塵、冷卻、真空艙室內(nèi)視頻等附屬裝置，并預(yù)留4個(gè)觀測(cè)窗口。
真空等離子噴涂系統(tǒng)由真空室體、真空系統(tǒng)、適用于真空環(huán)境使用的機(jī)器人、旋轉(zhuǎn)工裝、真空及排氣過濾系統(tǒng)、真空排氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、測(cè)量及控制系統(tǒng)、臺(tái)車推移及拖鏈裝置和視頻監(jiān)視系統(tǒng)等組成。（等離子噴涂系統(tǒng)由用戶自行選擇）
二、技術(shù)指標(biāo)
A、概述
本設(shè)備可在100～90000pa的密封真空室內(nèi)進(jìn)行熱噴涂，等離子噴槍置于密閉真空環(huán)境下，將粉末材料送入經(jīng)電離產(chǎn)生的等離子體射流中，使粉末顆粒在其中加速、熔化或汽化，在機(jī)械手操作下噴射到工件表面，在沖擊力的作用下，汽化、半熔化或塑性狀態(tài)射流在基底上凝固形成涂層。主要用于在材料表面制備功能涂層材料，如：金屬、活性金屬、合金、金屬陶瓷、陶瓷、碳化物和氮化物等形成多層復(fù)合材料。
真空等離子噴涂設(shè)備可以一次性在復(fù)雜形狀工件表面形成多層結(jié)構(gòu)和超硬度涂層（如 TiN等），涂層致密無(wú)氧化和其他污染，可有效改善工件的表面物理化學(xué)特性。
B、主要技術(shù)參數(shù)
1、型號(hào) ZP-2000A 型
2、真空室體規(guī)格 Φ2000×3500 mm
3、極限真空度(空載、干燥、清潔的真空室體) 5 Pa
4、工作真空度 100～90000 Pa（進(jìn)氣量<100 SLPM）
5、靜態(tài)漏率(空載、干燥、清潔的真空室體) ≤ 67 Pa/h
6、控制方式 自動(dòng)、手動(dòng)抽空和采用計(jì)算機(jī)和PLC工業(yè)控制器聯(lián)合控制
7、氣體壓強(qiáng)控制 計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制壓強(qiáng)
8、氣體壓強(qiáng)調(diào)節(jié)方法 計(jì)算機(jī)調(diào)節(jié)多級(jí)泵聯(lián)合控制
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