真空冷噴
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真空冷噴（氣懸浮沉積設備）
SWZKLP真空冷噴涂系統(tǒng)
一，設備概述
真空冷噴涂環(huán)境系統(tǒng)是根據(jù)客戶工藝要求，結合陜西賽維自動化有限公司在真空系統(tǒng)上的成功經驗設計的一套用在真空室體的冷噴涂系統(tǒng)。設備的主要用途：沉積微米級厚度的陶瓷薄膜。
氣懸浮沉積設備性能參數(shù)：
1） 極限真空度：5Pa
2） 工作真空度：50~1000Pa；動態(tài)可調 精度±5Pa（升級不另行通知）
3） 真空室體尺寸（長×寬×高）：1050×800×900mm；（升級不另行通知）
4） 二維工作臺行程：350×320 mm；可X-Y編程，可圖形輸入
5） 控制系統(tǒng)：PLC可編程控制器
6） 控制方式：壓強自動控制
7） 氣體過濾回收
二，真空冷噴涂設備系統(tǒng)組成
真空噴涂設備系統(tǒng)包括真空抽氣泵組，真空室體及附件，真空室體底座，吹氣懸浮振動送粉及冷噴槍，二維工作臺工件安裝及移動裝置，電氣控制及操作系統(tǒng)，回填氣路，手動破空閥及消音器，真空規(guī)檢測，真空管路及真空閥門等組成。
三、真空冷噴涂樣件照片
噴涂氧化鋁試件照片
噴涂氧化鋁試件掃描電鏡照片
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